GB/T 25184-2010 X射线光电子能谱仪检定方法

本标准规定了X射线光电子能谱仪的检定方法。本标准适用于使用非单色化Al或MgX射线或单色化AlX射线,且带有溅射清洁用离子枪的X射线光电子能谱仪的检定。

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前言 Ⅰ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 符号和缩略语 1 4 方法原理与系统构成 3 5 计量单位与技术指标 4 6 检定环境 5 7 检定项目与方法 5 8 报告检定结果 22 9 检定周期 22

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